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本公司是个专业生产和营销大功率磁控溅射电源的企业公司,主要经营:真空蒸发镀膜电源、中频磁控溅射电源、脉冲磁控溅射电源、直流磁控溅射电源、偏压电源等等。 本公司自主研发生产的磁控溅射电源,成功地运用了优异的脉宽调制技术(PWM),引进三菱、富士等国际的MOSFET、IGBT执行元件,大功率机器采用结构均流技术,并配以各种完善的保护功能,使得高频开关电源可靠性问题得到了圆满解决,满足低纹波要求,而且体积小、重量轻、节能环保,是一种性价比异的电源产品,是可控硅整流电源的理想替代品。它具有以下特点: 1、可提供恒流,恒压,恒功率工作模式。 2、有效抑制耙材弧光放电及抗短路功能,具有的负载匹配能力。 3、具有电压陡降特性,可充分满足磁控溅射的特殊要求。 4,工艺重复性好。 5、提高成膜速度,实现高质量的溅射膜层。 6、可N+1并联,实现大功率输出,方便维护,可靠性高。 7、具备RS485通讯接口PLC模拟接口功能,方便与工控电脑计算机无误差传输,实现全自动控制。 8、具有多级输出功能,可设定在不同时间段输出不同的电流、电压或功率值。 经过公司专业人员长期以来的技术开发和试验,针对着镀膜工艺、自主研发出一...[详细介绍]
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